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FAGOR光柵尺維修與數據處理

日期:2019-06-21 17:57
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摘要:
FAGOR光柵尺維修與數據處理
检测與數據處理
電子細分與判向法
      FAGOR光柵尺光柵測量位移的實質是以光柵柵距爲一把標准尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴,且制造困難。爲了提高系統分辨率,需要對莫爾條紋進行細分,FAGOR光柵尺光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會産生莫爾條紋,隨著光柵的移動,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換爲對莫爾條紋個數的測量。
      在一个莫尔条纹宽度内,按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与判向功能。例如,栅线为50线对/mm的光栅尺,其光栅栅距为0.02mm,若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲,这在工业普通测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量,即要检测其大小,又要检测其方向,因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波,通常采用由低漂移运放构成的差分放大器。由4个光敏器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端,从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2,为得到判向和计数脉冲,需对这两路信号进行整形,首先把它们整形为占空比为1:1的方波。然后,通过对方波的相位进行判别比较,就可以等到光栅尺的移动方向。通过对方波脉冲进行计数,可以等到光栅尺的位移和速度。

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